เซ็นเซอร์สั่นสะเทือน
เซ็นเซอร์ตัวต้านทานแบบเพียโซ
(VP-7000L)
เซ็นเซอร์ตัวต้านทานแบบเพียโซมีโครงสร้างที่มั่นคงซึ่งประกอบขึ้นจากชิปซิลิกอนที่สร้างขึ้นโดยเทคโนโลยีการผลิตไมโครแมชชีนนิ่งและเซมิคอนดักเตอร์
-
เซ็นเซอร์ตัวต้านทานแบบเพียโซมีโครงสร้างที่มั่นคงซึ่งประกอบขึ้นจากชิปซิลิกอนที่สร้างขึ้นโดยเทคโนโลยีการผลิตไมโครแมชชีนนิ่งและเซมิคอนดักเตอร์ มวลและลำแสงที่ชุดของตัวต้านทานเพียโซถูกสร้างขึ้นบนชิปซิลิกอน ชุดของบริดจ์ไฟฟ้าถูกสร้างขึ้นโดยตัวต้านทานแบบเพียโซรีซิสทีฟเพื่อสร้างสัญญาณตามสัดส่วนกับความเร่งที่ใช้
คุณสมบัติ
การวัดสามารถทำได้ในช่วงความถี่กว้างที่ครอบคลุมด้านล่าง ตั้งแต่ความถี่ต่ำพิเศษไปจนถึงความถี่สูงหลายกิโลเฮิรตซ์
น้ำหนักเบาและกะทัดรัด
ความไวสูง
ทนทานต่ออัตราเร่งสูง
การตอบสนองความถี่
ความถี่สูงสุดที่ใช้งานได้ขึ้นอยู่กับลักษณะของแดมเปอร์ที่ประกอบขึ้นในเซ็นเซอร์เอง ความถี่ที่ใช้งานได้ต่ำลงไปที่ DC