Schwingungsüberwachungssystem
Piezo-Resistiver Sensor
(VP-7000L)
Ein piezoresistiver Sensor hat eine stabile Struktur auf einem Siliziumchip, der durch Mikrobearbeitung und Halbleiterproduktionstechnologie hergestellt wird.
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Ein piezoresistiver Sensor hat eine stabile Struktur auf einem Siliziumchip, der mit Hilfe von Mikrobearbeitung und Halbleiterproduktionstechnologie hergestellt wird. Auf einem Siliziumchip befinden sich eine Masse und ein Träger, auf dem eine Reihe von Piezoresistoren aufgebaut sind. Diese piezoresistiven Widerstände bilden eine elektrische Brücke, um Signale zu erzeugen, die proportional zur angelegten Beschleunigung sind.
Eigenschaften
Messungen sind über einen breiten Frequenzbereich möglich, der
bis hin zu Hochfrequenzen von mehreren kHz.
Kompakt und leicht
Hohe Empfindlichkeit
Hochgradig beschleunigungsfest
Frequenzgang
Die obere nutzbare Frequenz hängt von den Eigenschaften der im Sensor selbst enthaltenen Dämpfer ab. Die untere nutzbare Frequenz reicht bis zu DC.
