振動ピックアップ
ピエゾ抵抗式加速度ピックアップ
(VP-7000L)
マイクロマシニングと半導体製造技術により、1枚のシリコンチップ上に、マスと梁を生成し梁上部にピエゾ抵抗を作り込んだ、
安定した構造となっています。ピエゾ抵抗でブリッジを構成し、印加された加速度による抵抗変化を、電圧信号として出力します。
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マイクロマシニングと半導体製造技術により、1枚のシリコンチップ上に、マスと梁を生成し梁上部にピエゾ抵抗を作り込んだ、安定した構造となっています。ピエゾ抵抗でブリッジを構成し、印加された加速度による抵抗変化を、電圧信号として出力します。
特長
超低周波から数kHzまで、広い振動数範囲の計測可能
小型、軽量
高感度
高い耐加速度
特性
振動数特性
上限振動数はピックアップ内部に組み込まれているダンピング機構で決まります。下限振動数は、DCから計測できます。
